(1) Trajtimi para PVD, duke përfshirë pastrimin e artikujve dhe trajtimin paraprak.Metodat specifike të pastrimit përfshijnë pastrimin me detergjent, pastrimin me tretës kimik, pastrimin me ultratinguj dhe pastrimin e bombardimeve jonike.
(2) Vendosini ato në furrë, duke përfshirë pastrimin dhe pajisjet e dhomës me vakum, si dhe instalimin, vënien në punë dhe lidhjen e artikujve dhe pajisjeve.
(3) Fshesë me korrent, përgjithësisht duke pompuar në 6.6 Pa ose më shumë, hapni pjesën e përparme të pompës së difuzionit më herët për të ruajtur pompën e vakumit dhe për të ngrohur pompën e difuzionit.Pasi ngrohja paraprake është e mjaftueshme, valvula e lartë hapet dhe pompohet në një vakum gjysmë fundi 6 x 10-3 Pa me një pompë difuzioni.
(4) Pjekja, pjekja e artikujve në temperaturën e dëshiruar.
(5) Bombardimi me jon, vakuumi është përgjithësisht 10 Pa deri në 10-1 Pa, voltazhi i bombardimit jonik është një tension i lartë negativ prej 200 V deri në 1 KV dhe koha e sulmit është 15 min deri në 30 min.
(6) Shkrirja paraprake, rregullimi i rrymës për të shkrirë paraprakisht materialin, rregullimi i rrymës për të shkrirë paraprakisht shtresën dhe degazimi për 1min ~ 2min.Depozitimi në avullim.Rryma e avullimit rregullohet sipas nevojës derisa të përfundojë koha e dëshiruar e depozitimit.Me ftohje, artikujt ftohen në një temperaturë të caktuar në dhomën e vakumit.
(7) Pasi të jenë nxjerrë artikujt, dhoma e vakumit mbyllet, vakuumi evakuohet në l × l0-1Pa dhe pompa e difuzionit ftohet në temperaturën e lejuar përpara se pompa e mirëmbajtjes dhe uji ftohës të fiket.